Что такое findslide.org?

FindSlide.org - это сайт презентаций, докладов, шаблонов в формате PowerPoint.


Для правообладателей

Обратная связь

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Яндекс.Метрика

Презентация на тему Получение вакуума

Содержание

Классификация вакуумных насосов по принципу действия:механическиефизико-химические по назначению:Низковакуумные (форвакуумные) 10-2 – 760 ТоррВысоковакуумные (техн. вакуум) 10-6 - 10-2 ТоррСверхвысоковакуумные  10-6 Торр
Получение вакуума1. Физические свойства2. Измерение вакуума3. Получение вакуума4. Компоненты вакуумных систем Классификация вакуумных насосов по принципу действия:механическиефизико-химические по назначению:Низковакуумные (форвакуумные) 10-2 – 760 объемные -откачка осуществляется за счет периодического изменения объема рабочей камеры молекулярные механическиевакуумные насосыобъемныемолекулярныеПластинчато-роторныеЖидкостно-кольцевыеСпиральныеПоршневыефизико-химические вакуумные насосыКлассификация вакуумных насосов по принципу действия ТурбомолекулярныенасосыСтруйныенасосы Вакуумный насос, действие которого основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости Принцип молекулярной откачкиСоздается перепад давлений p2>p1 максимальная быстрота действия пропорциональна скорости: Smax= Цилиндрический насос имеет в статоре 3 набор цилиндрических канавок 4, входные и Турбомолекулярные насос MDP5011 Adixen by Pfeiffer Vacuum Спиральные канавки на торцевых поверхностях статора 1, отстоящие на минимальном расстоянии от Практическое применение такие насосы нашли в качестве ступеней высокого вакуума, а также Насос турбомолекулярный безмасляный KYKY FF-100/110E Пластинчато-роторные насосы Турбомолекулярный насосATP 900 C Turbo Pump Rotation Speed: 27000 rpmStart-up Time:  3 min   Конструкция турбомолекулярного насоса во многом определяется расположением вала ротора: горизонтальным, вертикальным Формой     Большое влияние на характеристики насоса оказывает конструкция опорных узлов: на смазываемых Многодисковый турбомолекулярный насосВ корпусе горизонтального насоса установлены неподвижные статорные колеса, между которыми Для установившегося режима течения газа Q=U12p1 –U21p2,U12 и U21 проводимости каналов для     В связи с малыми коэффициентами компрессии каждой ступени в турбомолекулярном насосе Достоинства турбомолекулярных насосов:Большой диаметр входного отверстия,Получение высокого безмасляного вакуума;Быстрый запуск и остановка.Имеют Недостатки турбомолекулярных насосов: наличие высокоскоростного ротора со смазыванием быстроизнашивающихся подшипников; сложные системы Области применения турбомолекулярных насосов:Масс-спектрометрияЭлектронная микроскопияФизика поверхности и газовый анализТечеисканиеУскорители элементарных частицЯдерные исследованияПроизводство электровакуумных приборовПроизводство полупроводников Производители турбомолекулярных насосов: ООО «Призма», Новосибрская обл., г. Искитим http://www.ooo-prizma.ru/Indexgl.htmIlmvac GmbH, Германия http://www.tako-vakuum.ru/pumpen_turbomolekular_01.php#punkt_STPCCS Services, Швейцария http://www.ccsservices.ru/Vacuum/Vacuum2.html Параметры турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма»: Внешний вид турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма» (слева)  и Ilmvac GmbH (справа):
Слайды презентации

Слайд 2 Классификация вакуумных насосов
по принципу действия:
механические
физико-химические

по назначению:
Низковакуумные

Классификация вакуумных насосов по принципу действия:механическиефизико-химические по назначению:Низковакуумные (форвакуумные) 10-2 –

(форвакуумные) 10-2 – 760 Торр
Высоковакуумные (техн. вакуум) 10-6

- 10-2 Торр
Сверхвысоковакуумные  10-6 Торр


Слайд 3 объемные -откачка осуществляется за счет периодического изменения

объемные -откачка осуществляется за счет периодического изменения объема рабочей камеры

объема рабочей камеры

молекулярные – откачка за счет передачи

молекулам газа количества движения от твердой, жидкой или парообразной быстродвижущейся поверхности

Классификация механических вакуумных насосов по принципу откачки:


Слайд 4 механические
вакуумные насосы
объемные
молекулярные
Пластинчато-
роторные
Жидкостно-
кольцевые
Спиральные

Поршневые
физико-химические
вакуумные насосы
Классификация вакуумных насосов по принципу

механическиевакуумные насосыобъемныемолекулярныеПластинчато-роторныеЖидкостно-кольцевыеСпиральныеПоршневыефизико-химические вакуумные насосыКлассификация вакуумных насосов по принципу действия ТурбомолекулярныенасосыСтруйныенасосы

действия
Турбомолекулярные
насосы
Струйные
насосы


Слайд 5 Вакуумный насос, действие которого основано на сообщении молекулам

Вакуумный насос, действие которого основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной

откачиваемого газа дополнительной скорости при соударении их с быстро

вращающимся ротором.

Они имеют много конструктивных разновидностей:
цилиндрические,
дисковые,
конические и др.

Турбомолекулярный насос

Минимальное предельное давление от 10-4 до 10-14 Торр.


Слайд 6 Принцип молекулярной откачки
Создается перепад давлений p2>p1 максимальная быстрота

Принцип молекулярной откачкиСоздается перепад давлений p2>p1 максимальная быстрота действия пропорциональна скорости:

действия пропорциональна скорости:
Smax=  Fkvp

Fk- площадь поперечного сечения

канала,
 - коэффициент, учитывающий соотношения движущейся и неподвижной частей периметра канала.
Насос обеспечивает получение больших коэффициентов компрессии при малых скоростях откачки (1010).

Слайд 7 Цилиндрический насос имеет в статоре 3 набор цилиндрических

Цилиндрический насос имеет в статоре 3 набор цилиндрических канавок 4, входные

канавок 4, входные и выходные отверстия в которых разделены

перегородкой 1.
Ротор 2 вращается с большой частотой так, что его линейная скорость близка к тепловой скорости молекул.
Спиральный паз на поверхности статора 2 и цилиндрическая поверхность ротора 3 образуют рабочий канал.

Цилиндрический турбомолекулярный насос


Слайд 9 Турбомолекулярные насос MDP5011
Adixen by Pfeiffer Vacuum

Турбомолекулярные насос MDP5011 Adixen by Pfeiffer Vacuum

Слайд 10 Спиральные канавки на торцевых поверхностях статора 1, отстоящие

Спиральные канавки на торцевых поверхностях статора 1, отстоящие на минимальном расстоянии

на минимальном расстоянии от вращающегося диска 2, используются для

молекулярной откачки.
Нормальная работа таких насосов возможна при зазоре между ротором и статором, не превышающем 0.1 мм.
Через зазор между статором и ротором происходит возврат газа из камеры сжатия в камеру всасывания, что ухудшает реальные характеристики насосов.

Дисковый турбомолекулярный насос


Слайд 11 Практическое применение такие насосы нашли в качестве ступеней

Практическое применение такие насосы нашли в качестве ступеней высокого вакуума, а

высокого вакуума, а также при откачке газов с большой

молекулярной массой.
Проникновение паров масел, применяемых для смазки подшипниковых узлов, в откачиваемый объект во время работы насоса очень мало.
Быстрота действия насосов прямо пропорциональна частоте вращения ротора, которая в современных насосах может достигать 10 - 40 тыс. оборотов в минуту.
Предельное давление 10-10 Торр при коэффициентах компрессии 105 - 106.

Турбомолекулярный насос


Слайд 12 Насос турбомолекулярный безмасляный KYKY FF-100/110E

Насос турбомолекулярный безмасляный KYKY FF-100/110E

Слайд 13 Пластинчато-роторные насосы

Пластинчато-роторные насосы

Слайд 14 Турбомолекулярный насос
ATP 900 C Turbo Pump
Rotation Speed:

Турбомолекулярный насосATP 900 C Turbo Pump Rotation Speed: 27000 rpmStart-up Time: 3 min

27000 rpm
Start-up Time: 3 min


Слайд 15   Конструкция турбомолекулярного насоса во многом определяется расположением вала

  Конструкция турбомолекулярного насоса во многом определяется расположением вала ротора: горизонтальным, вертикальным

ротора:
горизонтальным,
вертикальным
Формой рабочих органов:

цилиндровые,
конусные,
дисковые с радиальным потоком,
дисковые с осевым потоком,
барабанные.   

Турбомолекулярный насос


Слайд 16     Большое влияние на характеристики насоса оказывает конструкция

    Большое влияние на характеристики насоса оказывает конструкция опорных узлов: на

опорных узлов:

на смазываемых подшипниках качения,
на

магнитных опорах,
на газовой подушке.

Турбомолекулярный насос


Слайд 17 Многодисковый турбомолекулярный насос
В корпусе горизонтального насоса установлены неподвижные

Многодисковый турбомолекулярный насосВ корпусе горизонтального насоса установлены неподвижные статорные колеса, между

статорные колеса, между которыми вращаются колеса, закрепленные на роторе.


Роторные колеса выполняются в виде дисков с прорезями. В статорных колесах имеются зеркально расположенные прорези такой же формы.
При горизонтальном положении ротора движение газа в насосе после входа во всасывающий патрубок разветвляется на два потока, которые соединяются в выхлопном патрубке.    

Слайд 18 Для установившегося режима течения газа

Q=U12p1 –U21p2,

U12 и

Для установившегося режима течения газа Q=U12p1 –U21p2,U12 и U21 проводимости каналов

U21 проводимости каналов для потоков q1 и q2 соответственно.



Принцип перехода молекул газа через вращающееся рабочее колесо основан на различии сопротивлений межлопаточных каналов, образованных двумя соседними лопатками или стенками паза, потокам газа с противоположных сторон.
Угол наклона выбирается так, что вероятность перехода молекул в сторону откачки выше, чем отражение назад для вращающихся дисков и наоборот для неподвижных.

Многодисковый турбомолекулярный насос


Слайд 19     В связи с малыми коэффициентами компрессии каждой

    В связи с малыми коэффициентами компрессии каждой ступени в турбомолекулярном

ступени в турбомолекулярном насосе можно увеличить рабочие зазоры.
При

диаметре рабочих колес 200 мм осевой (между колесами) в радиальный (между корпусом и роторным колесом или ротором и статорным колесом) зазоры могут составлять 1 - 1.2 мм, что позволяет значительно повысить надежность их работы.
Увеличение зазоров, снижая коэффициент компрессии насоса, слабо влияет на его быстроту действия.

Многодисковый турбомолекулярный насос


Слайд 20 Достоинства турбомолекулярных насосов:
Большой диаметр входного отверстия,
Получение высокого безмасляного

Достоинства турбомолекулярных насосов:Большой диаметр входного отверстия,Получение высокого безмасляного вакуума;Быстрый запуск и

вакуума;
Быстрый запуск и остановка.
Имеют высокую быстроту откачки газов с

малой молекулярной массой;



Слайд 21 Недостатки турбомолекулярных насосов:
наличие высокоскоростного ротора со смазыванием

Недостатки турбомолекулярных насосов: наличие высокоскоростного ротора со смазыванием быстроизнашивающихся подшипников; сложные

быстроизнашивающихся подшипников;
сложные системы подвеса ротора;
наличие преобразователя напряжения

для питания высокооборотного электродвигателя;
сложность изготовления и относительно высокая цена.



Слайд 22 Области применения турбомолекулярных насосов:
Масс-спектрометрия
Электронная микроскопия
Физика поверхности и газовый

Области применения турбомолекулярных насосов:Масс-спектрометрияЭлектронная микроскопияФизика поверхности и газовый анализТечеисканиеУскорители элементарных частицЯдерные исследованияПроизводство электровакуумных приборовПроизводство полупроводников

анализ
Течеискание
Ускорители элементарных частиц
Ядерные исследования
Производство электровакуумных приборов
Производство полупроводников


Слайд 23 Производители турбомолекулярных насосов:
ООО «Призма», Новосибрская обл., г.

Производители турбомолекулярных насосов: ООО «Призма», Новосибрская обл., г. Искитим http://www.ooo-prizma.ru/Indexgl.htmIlmvac GmbH, Германия http://www.tako-vakuum.ru/pumpen_turbomolekular_01.php#punkt_STPCCS Services, Швейцария http://www.ccsservices.ru/Vacuum/Vacuum2.html

Искитим
http://www.ooo-prizma.ru/Indexgl.htm

Ilmvac GmbH, Германия
http://www.tako-vakuum.ru/pumpen_turbomolekular_01.php#punkt_STP

CCS Services, Швейцария
http://www.ccsservices.ru/Vacuum/Vacuum2.html


Слайд 24 Параметры турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма»:

Параметры турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма»:

Слайд 25 Внешний вид турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма» (слева)

Внешний вид турбомолекулярных насосов производства ООО «Призма» (слева) и Ilmvac GmbH (справа):

и Ilmvac GmbH (справа):


  • Имя файла: poluchenie-vakuuma.pptx
  • Количество просмотров: 117
  • Количество скачиваний: 0