Г. Биннигом и Г. Рорером, которым за эти исследования
в 1986 была присуждена Нобелевская премия.Атомно-силовой микроскоп
Сканирующий туннельный микроскоп
Г. Бинниг показ принципиальную возможность неразрушающего контакта зонда с поверхностью образца.