Слайд 2
Компания Agilent заслужила
положение лидирующего мирового производителя диффузионных насосов с производительностью от
65 л/с до 28000 л/с, учитывая потребности заказчиков и непрерывно совершенствуя эксплуатационные характеристики и надежность изделий. На протяжении более чем сорокалетнего лидерства в промышленности компания Agilent систематически производила насосы, которые являются наиболее эффективными средствами преобразования тепла в работу насоса. Богатый опыт позволил компании оптимизировать конструкцию каждого элемента устройства, поэтому диффузионные насосы Agilent обеспечивают самые низкие затраты при эксплуатации, предоставляя возможность откачки до степени глубокого вакуума.
Слайд 4
Модели
1)АХ-65
Скорость откачки 65 л/сек
Предельный вакуум 5x10-8 мбар
2)VHS-4,
Скорость откачки 750 л/сек,
Предельный вакуум 5 x 10-8мбар
3)VHS-250,
Скорость откачки 2 125 л/сек,
Предельный вакуум 5 x 10-9 мбар
4)VHS-400,
Скорость откачки 4 500 л/сек,
Предельный вакуум 5 x 10-9 мбар
Слайд 5
5)HS-20,
Скорость откачки 10 000 л/сек,
Предельный вакуум 5 x
10-8 мбар
6)HS-2,
Скорость откачки 160 л/сек,
Предельный вакуум 5 x 10-8 мбар
7)VHS-6,
Скорость откачки
1 550 л/сек,
Предельный вакуум 5 x 10-9 мбар
8)NHS-35, Скорость откачки 28 000 л/сек, Предельный вакуум 5 x 10-8 мбар
Слайд 6
Технические характеристики
Техническая спецификация диффузионных насосов от 65 л/с
до 3650 л/сек
Слайд 8
К ключевым характеристикам диффузионных насосов компании Agilent относятся:
Все вакуумные насосы
спроектированы для получения высокой скорости откачки, возможности работы при относительно высоком форвакуумном давлении, получения наименьшего остаточного давления и надежной работы продолжительное время и обеспечивают полное фракционирование испаряемой жидкости в нагревателе и в области генерации паромасляной струи, что значительно уменьшает загрязнение вакуумной системы и повышает производительность насоса.
Уникальная конструкция нагревателя обеспечивает высокий уровень нечувствительности к обычным изменениям напряжения и к типу различных рабочих жидкостей. Данная конструкция также минимизирует разложение рабочей жидкости, обеспечивая номинальную работу насоса при невысокой температуре нагревателя (ниже 240 °С). Эжекторная ступень насосов обеспечивает возможность работы при относительно высоком форвакуумном давлении, а также большую площадь охлаждаемой поверхности для эффективной дегазации рабочей жидкости.
Слайд 9
Многие задачи имеют специфические требования. Компания Agilent может
предоставить дополнительное оборудование, например, современные ловушки для устранения дополнительного
обратного потока паров углеводорода, а также змеевик, для быстрого водянного охлаждения для сокращения продолжительности циклов системы.
Очень важно поддерживать работоспособное состояние, поэтому Agilent упростили эксплуатацию и техническое обслуживание. Смотровое окошко дает возможность визуально определять состояние насоса, является ли он холодным или горячим, либо находится под действием вакуума. Отверстие для установки манометра способствует выявлению неполадок в системе.
За счет максимальной производительности, допустимой в расчете на единицу затраченной энергии, пониженных требований к водяному охлаждению, а также за счет прочной и долговечной конструкции, выполненной из нержавеющей стали, компания Agilent поставляет насосы большого объема при наиболее низких затратах на их приобретение.
Успех компании основан на желании помочь клиентам, удовлетворяя самые строгие требования к процессу производства.
Слайд 10
Области применения
Вакуумные печи
Вакуумная печь требует использования насоса, обеспечивающего стабильное давление
в среде с большим потоком газа. Кроме того, операторам печи требуются более короткие промежутки времени для эффективной работы с партиями термообработанных материалов. Это становится возможным, благодаря использованию диффузионных насосов компании Agilent, отличающихся высокой производительностью и низкой скоростью обратного потока. Данные насосы применимы при высокой степени дегазации материалов и допускают повышенное переходное давление, что заметно сокращает время циклов.
Металлизация
В системах нанесения покрытий «на лету» и с помощью валика диффузионные насосы компании Agilent способны откачивать газ при высоких нагрузках, что делает их лучшими для систем непрерывного производства.
Слайд 11
Покрытие больших площадей/осаждение толстых слоев пленки
Благодаря простоте, высокой
производительности и низким первоначальным затратам, диффузионные насосы остаются основными
механизмами для создания вакуума в системах нанесения покрытий на большие площади. Крупногабаритные насосы, используемые для этих целей, поставляются со смотровым стеклом и дренажной системой, а также производятся с фланцами стандартов ASA или ISO.
Покрытия (оптика, электроника, защита)
При низком значении предельно допустимого давления, высокой скорости, производительности и большом форвакуумном давлении на выходе диффузионные насосы компании Agilent являются наилучшим выбором для экспериментальных и производственных систем.
Молекулярные пучки
Форвакуумная эжекторная ступень обеспечивает высокое допустимое давление на входе и большую площадь для эффективной дегазации сжатой жидкости, одновременно минимизируя потери жидкости за счет форвакуумной перегородки даже в условиях высокой производительности. Все насосы компании Agilent включают эжекторную ступень, а также пароструйные ступени полного фракционирования. Насосы серии HS имеют высокую скорость откачки и низкое предельно допустимое давление.
Слайд 12
Вакуумные ловушки для диффузионных насосов Agilent
С водяным охлаждением
Оптически плотные водоохлаждаемые перегородки можно использовать для диффузионных насосов серии HS-2, VHS-4, VHS-6 и VHS-10. Эти перегородки следует использовать в случаях, если обратный поток необходимо удерживать на предельно низком уровне, который недопустим при использовании расширенного холодного колпака. Такие перегородки предназначены для стопроцентного препятствования первичному обратному потоку, одновременно сохраняя 50% скорости обычного диффузионного потока.
Слайд 13
Для диффузионных насосов HS-16, HS-20, HS-32 и NHS-35
Данные
вакуумные ловушки компании Agilent примерно удваивают скорость на входе
насоса по сравнению с традиционными шевронными перегородками, не приводя при этом к увеличению габаритов установки. Эти перегородки с водяным охлаждением являются весьма экономичными по сравнению с другими непроницаемыми шевронными перегородками.
Слайд 14
Зависимость быстроты действия от впускного давления
Молекулы газа летят против струи пара, достаточно просто проникают в нее. Пар с молекулами газа достигают стенки насоса, где конденсируется. Молекулы газа испаряются под струей и движутся с тепловыми скоростями.
Они не в состоянии преодолеть барьер, образуемый струей пара. Ее плотность и скорость не оставляет и ничтожной вероятности, что молекулы газа могут пролететь через струю не столкнувшись ни с одной молекулой пара ничтожно мала. После столкновения газ приобретает импульс и направление движения в сторону откачки. Он возвращается под струю либо на стену корпуса.
Слайд 16
Направление движения пара после столкновения практически не изменяется
из-за большей массы. Так струя перемещает молекулы газа к
выхлопному патрубку (откачка) и является преградой, которая разделяет области разных давлений. Поэтому перетечки газа из области с высоким давлением в сторону низкого не происходит.
Общее воздействие отдельных столкновений молекул газа и пара оказывает давление на струю. Ограниченность кинетической энергии молекул пара означает, что струя выдерживает определенное давление. Его превышение ведет к срыву струи, прорыву преграды, которая разделяет области разных давлений, и нарушается процесс откачки.
Слайд 17
Выписка из Реферативного журнала 61
04.12-61.103. Диффузионные насосы с
естественным охлаждением длятехнологических установок Леонов Л. Б (Москва ,
НИИВТ).
Диффузионные насосы для получения вакуума в технологических установках . Их высокие удельные вакуумные параметры , простота конструкции , удобство в работе .
Фирам Dow Corning , США ) создание кремнийорганических жидкостей DC-704 и DC-705.
Разработки диффузионных насосов в СССР и за рубежом стали рассматриваться оба направления , так фирмы Balzers и Varian разработали насосы с естественным охлаждением, а фирма Alkatel представила высоковакуумный безмаслянный насос Krystal с водяным охлаждением для получения давления порядка 10-9 торр
Слайд 18
06.03-61.103 История создания диффузионного насоса
Борисов В.П.(Институт истории
и естествознания и техники им .С
И. Вавилова РАН ,
Москва). Вакуум.техн. и технол. 2005. 15. № 3. с. 281-285, 7 ил. Библ. 11. Рус
История изобретения диффузионного насоса ведет начало от работ выдающегося русского физика П. Н. Лебедева. Его работа натолкнула немецкого ученого Вольфганга Геде , активно работавшего в области физики и техники вакуум, на идею диффузионной откачки. Первая статья Геде с описанием нового насоса появилась в 1915 г. Эту дату часто называют годом изобретения диффузионного насоса . В последующие годы появилось большое количество разнообразных конструкций ртутных и пароструйных насосов.