Презентация на тему Тонкопленочные полупроводники. (Лекция 9)

химического осаждения из газовой фазы (CVD);
-метод химического осаждения из

раствора;
2. Монокристаллические пленки
-газовая эпитаксия;
-молекулярно-лучевая эпитаксия

- CdS, CdSe, Te, PbS

слоев вещества на подложку, при котором кристаллографическая ориентация наращиваемого

слоя повторяет ориентацию подложки
Толщина осаждаемых слоев 1-10 мкм
Различают: гетеро- и гомоэпитаксию

составу и кристаллической структуре
Гомоэпитаксия - вещество слоя и подложки

одинаковы по химическому составу
Молекулярно-лучевая эпитаксия
Позволяет выращивать сверхтонкие слои (10-100 нм), создавать сверхрешетки.
Сверхрешетка- последовательность большого числа чередующихся слоев разного состава с толщиной 5-10 нм

материалов
1. Уменьшение эффективной подвижности носителей – размерный эффект сопротивления.
2.

Уменьшение средней длины свободного пробега носителей

электрона;
h- постоянная Планка
Для μB =1000 см2/В⋅с и nB=1018 см-3,

l=200Å.
Для пленки подвижность определяется:





3. Наличие квантовых размерных эффектов, если толщина пленки сравнима или меньше длины свободного пробега носителей.

заряда:
- рассеяние на тепловых колебаниях решетки;
- рассеяние на примесях

и дефектах;
- поверхностное рассеяние (включая рассеяние на границах кристаллитов)
Подвижность пропорциональна Т-3/2 (или Т-5/2, если велик вклад оптических фононов), т.е. возрастает с понижением температуры;
Для преобладающих ионизованных примесей подвижность пропорциональна Т3/2 , т.е. уменьшается с понижением температуры

сопротивления (ТКС) (положительный или отрицательный)

примесей:
PbS – кислород
PbTe – кислород (введение меняет электронный тип

проводимости на дырочный)
CdS, ZnSe – Ag, Cu, Cl.
Фотопроводимость объясняется увеличением концентрации, подвижности и времени жизни основных носителей.