Что такое findslide.org?

FindSlide.org - это сайт презентаций, докладов, шаблонов в формате PowerPoint.


Для правообладателей

Обратная связь

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Яндекс.Метрика

Презентация на тему Введение в эпитаксиальные технологии

Содержание

Зонная структураФормирование электронных зон в твердом теле из энергетических уровней изолированных атомов
Введение в эпитаксиальные технологииИльдар Набиуллин Академический университет РАН Зонная структураФормирование электронных зон в твердом теле из энергетических уровней изолированных атомов Переход от атома к решётке Взаимодействие изолированного атома с квантом света Вынужденное излучение Излучательная рекомбинация электрона и дыркиИзлучательная рекомбинация электрона и дырки: а – спонтанное излучение; б – вынужденное Устройство инжекционного п/п лазера Устройство инжекционного п/п лазера Окна прозрачности оптического волокна Нобелевская премия 20 векаЖорес Иванович АлфёровPrize motivation:  Эпитаксияεπι – на , ταξισ – упорядоченность Классификация эпитаксии по агрегатному состоянию среды Рассогласование по параметру решётки*допустимо не более 15%**важно также, чтобы слой и подложка Метод измерения кривизны растущей структурыНапряжённый эпитаксиальный слой растягивает или сжимает подложку Латеральный рост Вакуумная лампа накаливания⇑Температуры нити – ⇑ КПД.⇑ Температуры нити – ⇑ испарения Газонаполненная лампа накаливанияГаз меняет процесс массопереноса.Он препятствует свободномуполету атомов W.Вокруг нити образуется Галогеновая лампа накаливанияИспаряющийся W реагирует с йодом.Реакция идет и в газе, и Механизм ростаВстраивание происходит равномернее, если реакция адатомов с поверхностью обратимая (под действием температуры) Газофазная эпитаксия Схема реактора Скоростной и концентрационный пограничные слои Пограничный слой Механизм роста Примеры установок Молекулярно-пучковая эпитаксия Ячейка Кнудсена Типичная МПЭ установка Другие виды эпитаксии	Конденсация из паровой фазы в вакууме. Метод заключается в испарении КонтактыИльдар НабиуллинСтудент 1 курса магистратуры СПбАУ РАНТелефон: +7 912 596 91 36Эл. почта: nabildar@yandex.ru
Слайды презентации

Слайд 2 Зонная структура
Формирование электронных зон в твердом теле из

Зонная структураФормирование электронных зон в твердом теле из энергетических уровней изолированных атомов

энергетических уровней изолированных атомов


Слайд 3 Переход от атома к решётке

Переход от атома к решётке

Слайд 4 Взаимодействие изолированного атома с квантом света

Взаимодействие изолированного атома с квантом света

Слайд 5 Вынужденное излучение

Вынужденное излучение

Слайд 6 Излучательная рекомбинация электрона и дырки
Излучательная рекомбинация электрона и

Излучательная рекомбинация электрона и дыркиИзлучательная рекомбинация электрона и дырки: а – спонтанное излучение; б – вынужденное

дырки:
а – спонтанное излучение; б – вынужденное


Слайд 7 Устройство инжекционного п/п лазера

Устройство инжекционного п/п лазера

Слайд 8 Устройство инжекционного п/п лазера

Устройство инжекционного п/п лазера

Слайд 9 Окна прозрачности оптического волокна

Окна прозрачности оптического волокна

Слайд 10 Нобелевская премия 20 века
Жорес Иванович Алфёров
Prize motivation: "for developing

Нобелевская премия 20 векаЖорес Иванович АлфёровPrize motivation: 

semiconductor heterostructures used in high-speed- and opto-electronics"


Слайд 11 Эпитаксия
επι – на , ταξισ – упорядоченность

Эпитаксияεπι – на , ταξισ – упорядоченность

Слайд 12 Классификация эпитаксии по агрегатному состоянию среды

Классификация эпитаксии по агрегатному состоянию среды

Слайд 13 Рассогласование по параметру решётки
*допустимо не более 15%
**важно также,

Рассогласование по параметру решётки*допустимо не более 15%**важно также, чтобы слой и

чтобы слой и подложка имели близкие значения коэффициентов термического

расширения

Слайд 14 Метод измерения кривизны растущей структуры
Напряжённый эпитаксиальный слой растягивает или

Метод измерения кривизны растущей структурыНапряжённый эпитаксиальный слой растягивает или сжимает подложку

сжимает подложку


Слайд 15 Латеральный рост

Латеральный рост

Слайд 18 Вакуумная лампа накаливания
⇑Температуры нити – ⇑ КПД.
⇑ Температуры

Вакуумная лампа накаливания⇑Температуры нити – ⇑ КПД.⇑ Температуры нити – ⇑

нити – ⇑ испарения W
W создает непрозрачное покрытие
Скорость осаждения

W~1/r2 ⇒
⇒Увеличение r

Аналог молекулярно-пучковой эпитаксии


Слайд 19 Газонаполненная лампа накаливания
Газ меняет процесс массопереноса.
Он препятствует свободному
полету

Газонаполненная лампа накаливанияГаз меняет процесс массопереноса.Он препятствует свободномуполету атомов W.Вокруг нити

атомов W.
Вокруг нити образуется область,
обогащенная парами W.
W частично переосаждается
на

нить накаливания.
Не переосадившийся W
диффундирует в газе к стенкам,
в значительной степени увлекаясь
вверх конвекционным потоком.
Снижается скорость испарения W.
W оседает преимущественно
на верхней поверхности лампы.
Размеры лампы по прежнему большие.

Аналог физической газофазной эпитаксии


Слайд 20 Галогеновая лампа накаливания
Испаряющийся W реагирует с йодом.
Реакция идет

Галогеновая лампа накаливанияИспаряющийся W реагирует с йодом.Реакция идет и в газе,

и в газе, и на стенках
(если они горячее 300-400оС).
Йодиды

вольфрама летучи.
Если нет холодных поверхностей,
пары йодидов вольфрама
заполняют лампу и разлагаются на
поверхности раскаленной нити, тем
самым «восстанавливая» ее.
При заданной температуре нити
увеличивается срок службы лампы.
Не изменяя срок службы лампы,
можно существенно повысить
температуру нити, повысив КПД.
Стенки лампы очищаются – можно
(и нужно для их разогрева) уменьшать
размеры лампы.

Аналог химической ГФЭ


Слайд 23 Механизм роста
Встраивание происходит равномернее, если реакция адатомов с

Механизм ростаВстраивание происходит равномернее, если реакция адатомов с поверхностью обратимая (под действием температуры)

поверхностью обратимая (под действием температуры)


Слайд 26 Газофазная эпитаксия

Газофазная эпитаксия

Слайд 27 Схема реактора

Схема реактора

Слайд 28 Скоростной и концентрационный пограничные слои

Скоростной и концентрационный пограничные слои

Слайд 29 Пограничный слой

Пограничный слой

Слайд 30 Механизм роста

Механизм роста

Слайд 31 Примеры установок

Примеры установок

Слайд 33 Молекулярно-пучковая эпитаксия

Молекулярно-пучковая эпитаксия

Слайд 34 Ячейка Кнудсена

Ячейка Кнудсена

Слайд 35 Типичная МПЭ установка

Типичная МПЭ установка

Слайд 36 Другие виды эпитаксии
Конденсация из паровой фазы в вакууме.

Другие виды эпитаксии	Конденсация из паровой фазы в вакууме. Метод заключается в

Метод заключается в испарении или распылении материала в вакууме

и осаждении его на монокристаллическую подложку.
Жидкофазная эпитаксия. Заключается в наращивании монокристаллического слоя из металлического расплава, насыщенного полупроводниковым материалом.
Твердофазная эпитаксия. При нагреве многослойной структуры происходит перекристаллизация одной из фаз и ее ориентированный рост на монокристаллическую подложку.


  • Имя файла: vvedenie-v-epitaksialnye-tehnologii.pptx
  • Количество просмотров: 275
  • Количество скачиваний: 1