Слайд 18
Вакуумная лампа накаливания ⇑Температуры нити – ⇑ КПД. ⇑ Температуры
нити – ⇑ испарения W W создает непрозрачное покрытие Скорость осаждения
W~1/r2 ⇒ ⇒Увеличение r
Аналог молекулярно-пучковой эпитаксии
Слайд 19
Газонаполненная лампа накаливания Газ меняет процесс массопереноса. Он препятствует свободному полету
атомов W. Вокруг нити образуется область, обогащенная парами W. W частично переосаждается на
нить накаливания. Не переосадившийся W диффундирует в газе к стенкам, в значительной степени увлекаясь вверх конвекционным потоком. Снижается скорость испарения W. W оседает преимущественно на верхней поверхности лампы. Размеры лампы по прежнему большие.
Аналог физической газофазной эпитаксии
Слайд 20
Галогеновая лампа накаливания Испаряющийся W реагирует с йодом. Реакция идет
и в газе, и на стенках (если они горячее 300-400оС). Йодиды
вольфрама летучи. Если нет холодных поверхностей, пары йодидов вольфрама заполняют лампу и разлагаются на поверхности раскаленной нити, тем самым «восстанавливая» ее. При заданной температуре нити увеличивается срок службы лампы. Не изменяя срок службы лампы, можно существенно повысить температуру нити, повысив КПД. Стенки лампы очищаются – можно (и нужно для их разогрева) уменьшать размеры лампы.
Слайд 36
Другие виды эпитаксии Конденсация из паровой фазы в вакууме.
Метод заключается в испарении или распылении материала в вакууме
и осаждении его на монокристаллическую подложку.
Жидкофазная эпитаксия. Заключается в наращивании монокристаллического слоя из металлического расплава, насыщенного полупроводниковым материалом.
Твердофазная эпитаксия. При нагреве многослойной структуры происходит перекристаллизация одной из фаз и ее ориентированный рост на монокристаллическую подложку.