- Главная
- Разное
- Бизнес и предпринимательство
- Образование
- Развлечения
- Государство
- Спорт
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Религиоведение
- Черчение
- Физкультура
- ИЗО
- Психология
- Социология
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Геометрия
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Что такое findslide.org?
FindSlide.org - это сайт презентаций, докладов, шаблонов в формате PowerPoint.
Обратная связь
Email: Нажмите что бы посмотреть
Презентация на тему Дослідженнявпливутиску реактивного середовища на осадженняплівококисіванадію методом реактивного магнетронного розпилення
Содержание
- 2. Ванадий, его оксиды и их свойстваРаздел 1
- 3. ВанадийВанадий — пластичный металл серебристо-серого цвета, по внешнему виду похож на
- 4. Фазовая диаграмма
- 5. Ванадий (II) - VOОксид ванадия(II) — бинарное
- 6. Ванадий (III) - V203Оксид ванадия(III) — блестящий черный
- 7. Ванадий (IV) - VO2Оксид ванадия(IV) — бинарное
- 8. Ванадий (V) – V2O5 Оксид ванадия(V) -
- 9. ВУП-5 и магнетронная распылительная системаРаздел 2
- 10. Внешний видВакуумный Универсальный Пост пятого поколения(ВУП-5) состоит
- 11. Система напускаСистема напуска состоит из пьезострикционного клапана
- 12. Система смешиванияСистема смешивания состоит из трех баллонов,
- 13. Магнетронная приставкаМагнетронная приставка состоит из следующих блоков:
- 14. Экспериментальная частьРаздел 3
- 15. ЗадачаПередо мной были поставлены следующие задачи:- спроектировать
- 16. ПМТ-6-3В первую очередь был выбран датчик, удовлетворяющий
- 17. Градуировочные кривые ПМТа) при постоянном токе нагрева нитиб) при поддерживании постоянной температуры накала
- 18. Адаптер ПМТ-6-3Для датчика ПМТ-6-3 был выбран режим
- 19. Макетирование адаптераМакетирование проводилось в программном комплексе MultiSim 11.0.
- 20. Монтажная плата адаптераМакетирование проводилось в программном комплексе DipTrace 2.3.
- 21. Готовый адаптер
- 22. Напыление пленокНапыление пленок проводилось при нескольких режимах
- 24. Первое напылениеI=100 мА, p=2*10-2Па, V=160см3 (50% O2/50% Ar)первый магнетронТолщина нанесенной пленки составила 147нм.
- 25. Второе напылениеI=140 мА, p=1*10-2Па, V=80см3 (66% O2/33% Ar)первый магнетронПленкаМикроструктураТолщина нанесенной пленки составила 272 нм.
- 26. Третье напылениеI=140 мА, p=1*10-2Па, V=80см3 (50% O2/50% Ar)второй магнетронПленкаМикроструктураТолщина нанесенной пленки составила 422 нм.
- 27. Четвертое напылениеI=140 мА, p=2,5*10-2Па, V=160см3 (50% O2/50% Ar)второй магнетронПленкаМикроструктураТолщина нанесенной пленки составила 343 нм.
- 28. Пятое напылениеНапыление чистого ванадияI=140 мА, p=2*10-2Па, V=80см3
- 29. Трехслойная пленкаСо второго напыления на одну и
- 30. Исследовательская частьРаздел 4
- 31. Характеристики схемыФункция зависимости напряжения на датчике давления от его сопротивленияV out, ВRд, Ом
- 32. Характеристики схемыФункция зависимости тока датчика давления от его сопротивленияI, ARд, Ом
- 33. Характеристики ванадияЗависимость волнового сопротивления Z от сопротивления пленки R
- 34. Характеристики оксидаЧастотная зависимость комплексной диэлектрической проницаемости
- 35. ВыводыВ ходе дипломной работы мною были получены
- 36. Скачать презентацию
- 37. Похожие презентации
Ванадий, его оксиды и их свойстваРаздел 1
Слайд 3
Ванадий
Ванадий — пластичный металл
серебристо-серого цвета, по внешнему виду похож на сталь.
V2O3, VO2,V2O5.
Слайд 5
Ванадий (II) - VO
Оксид ванадия(II) — бинарное неорганическое
соединение металла ванадия и кислорода, образует серые кристаллы кубической
сингонии, не растворимые в воде.При нагревании в вакууме до температуры свыше 700К превращается в V2O3
Слайд 6
Ванадий (III) - V203
Оксид ванадия(III) — блестящий черный
кристалл. Cуществует в двух кристаллических модификациях: при 105 °C α-форма
превращается в β-форму (ΔH° перехода 1,8 кДж/моль). Антиферромагнетиком является α-форма. В воде не растворим.
Слайд 7
Ванадий (IV) - VO2
Оксид ванадия(IV) — бинарное неорганическое
соединение, чёрно-синие кристаллы, не растворимые в воде, образует кристаллогидраты.
Оксид
ванадия(IV) образует чёрно-синие кристаллы моноклинной сингонии, но при температуре 68°С происходит переход в фазу тетрагональной сингонии.
Слайд 8
Ванадий (V) – V2O5
Оксид ванадия(V) - оранжевый
порошок, также встречаются кристаллы желто-красного цвета. Плотность 3,34 г/см3.
Температура кипения
+1827°C. Температура плавления +680°C.
Диамагнетик. Полупроводник n-типа.
Слайд 10
Внешний вид
Вакуумный Универсальный Пост пятого поколения
(ВУП-5)
состоит из
следующих ключевых блоков:
- рабочий объем;
- форвакуумный насос;
- диффузионный насос;
-
система подачи тока;- система напуска;
- система смешивания;
- магнетронная приставка;
- пульт управления;
Слайд 11
Система напуска
Система напуска состоит из пьезострикционного клапана и
электронной схемы управления. В работе устройства используется свойство керамики
изменять свои размеры под действием электрического тока. Такой клапан безинерционен и обладает отличными характеристиками для использования в вакуумных системах.
Слайд 12
Система смешивания
Система смешивания состоит из трех баллонов, сильфона
и набора вентилей.
В одном баллоне находится аргон, во втором
– кислород. Третий выступает в качестве смесительной емкости. Сильфон служит единицей измерения смешиваемых газов – его объем составляет 80см3.Перед началом работы система тщательно очищается и вакуумируется.
Слайд 13
Магнетронная приставка
Магнетронная приставка состоит из следующих блоков:
-
магнетроны;
- система охлаждения;
- датчики давления;
- подложкодержатель;
- система его нагрева;
-
система его вращения;
Слайд 15
Задача
Передо мной были поставлены следующие задачи:
- спроектировать и
создать прибор для измерения давления внутри рабочего объема ВУП-5
на всем диапазоне его рабочих давлений;- напылить пленки оксида ванадия и выяснить зависимость их структурных и электрофизических свойств от режимов работы установки;
Слайд 16
ПМТ-6-3
В первую очередь был выбран датчик, удовлетворяющий условиям
поставленной задачи – преобразователь манометрический терморезистивный ПМТ-6-3.
Необходимые характеристики:
- рабочий
диапазон давлений от 2,7*10-5 до 105 Па;- сопротивление нити 72 Ом (при температуре Т=200оС);
Слайд 17
Градуировочные кривые ПМТ
а) при постоянном токе нагрева нити
б)
при поддерживании постоянной температуры накала
Слайд 18
Адаптер ПМТ-6-3
Для датчика ПМТ-6-3 был выбран режим работы
с постоянным током накала нити. Для этого был спроектирован
и разработан адаптер для ПМТ-6-3, который стабилизировал бы ток накала в заданных пределах и преобразовывал изменение сопротивления нити в выходное напряжение.Принципиальная схема
Слайд 22
Напыление пленок
Напыление пленок проводилось при нескольких режимах работы
магнетронной распылительной системы.
Но некоторые величины остались константами:
- Напряжение
напыления – 600В;
- Время напыления –
60 минут;
- Расстояние от магнетрона
до подложки – 60 мм.;
Слайд 24
Первое напыление
I=100 мА, p=2*10-2Па, V=160см3 (50% O2/50% Ar)
первый
магнетрон
Толщина нанесенной пленки составила 147нм.
Слайд 25
Второе напыление
I=140 мА, p=1*10-2Па, V=80см3 (66% O2/33% Ar)
первый
магнетрон
Пленка
Микроструктура
Толщина нанесенной пленки составила 272 нм.
Слайд 26
Третье напыление
I=140 мА, p=1*10-2Па, V=80см3 (50% O2/50% Ar)
второй
магнетрон
Пленка
Микроструктура
Толщина нанесенной пленки составила 422 нм.
Слайд 27
Четвертое напыление
I=140 мА, p=2,5*10-2Па, V=160см3 (50% O2/50% Ar)
второй
магнетрон
Пленка
Микроструктура
Толщина нанесенной пленки составила 343 нм.
Слайд 28
Пятое напыление
Напыление чистого ванадия
I=140 мА, p=2*10-2Па, V=80см3 (100%
Ar)
второй магнетрон
Пленка с нанесенными контактами
Толщина нанесенной пленки составила 241
нм.
Слайд 29
Трехслойная пленка
Со второго напыления на одну и ту
же пленку наносились слои получаемого оксида.
Итоговая толщина составила 1023
нм.на пленку были нанесены электроды для исследования
электрофизических свойств
Слайд 31
Характеристики схемы
Функция зависимости напряжения на датчике давления от
его сопротивления
V out, В
Rд, Ом
Слайд 32
Характеристики схемы
Функция зависимости тока датчика давления от его
сопротивления
I, A
Rд, Ом
Слайд 35
Выводы
В ходе дипломной работы мною были получены следующие
результаты:
- сконструирован прибор для измерения давления в рабочем объеме
ВУП-5;- проведено напыление пленок оксида ванадия в разных
режимах работы магнетронной приставки;
- в рабочий объем установлен новый магнетрон;
