Презентация на тему Микро- и наноэлектромеханические системы.

их размеры соответствуют функциям, выполняемыми устройством. Граничные размеры варьируются

от нескольких сотен до единиц нанометров. Новые физические свойства, появившиеся благодаря малым размерам, играют ведущую роль в операциях, выполняемыми этими устройствами, поэтому для их изготовления потребуются новые подходы.

нужно подвести к нему и затратить некоторое количество энергии,

точно так же как для человека необходима еда, чтобы двигаться и жить. В микро- и наносистемах вместо электромагнитного принципа преобразования энергии, используемого повсеместно в «макроэлектронике», часто используют пьезоэлектрический или электростатический эффекты; в зависимости от выбора принципа работы наноустройств подвод энергии к микро- или «наноэлектромеханической системе» может осуществляться также электрически, термически или химически.

компонентом может быть миниатюрное зеркальце — элемент системы сканирования (например,

для технологии DLP), либо примитивный инерциальный датчик, способный определить характерные движения, которые пользователь проделывает со своим устройством.
МЭМС-устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС-микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.