Эпитаксией называется ориентированное наращивание слоёв, кристаллическая структура которых повторяет структуру подложки.Обычно материалы эпитаксиальной плёнки и подложки одинаковы, но иногда применяются и разные материалы с близкой кристаллической структурой, например, кремний на сапфире.