Согласно результам расчетов, изменения энергии Гиббса для реакций образования силицидов Mo3Si, Mo5Si3, MoSi2 при температуре плавления кремния равны соответственно -97,0; -324,2; и -108,8 кДж/моль, т.е. образование Mo5Si3 является наиболее вероятным.