в области от поверхности кремния до глубины, определенной через
параметр DPTH. Значение по умолчанию равно 0.01
DPTH: глубина в микронах кремниевой области, которая начинается на подложке кремния и для которой шаг сетки определяется посредством параметра DYSI. Значение по умолчанию равно 0.01
YMAX: Максимальная расчетная толщина кремния в мкм. Она не устанавливается по умолчанию. Этот параметр требуется задать в первой GRID CARD при описании последовательности операций и может быть впоследствии увеличен. Сетка, расположенная между DPTH и YMAX должна быть равна или меньше величины 2хDYSI, что необходимо для достижения максимального количества точек сетки, равного 400