Презентация на тему Особенности электрических свойств в тонких металлических пленках

находиться в диапазоне от долей нанометра до не сколько

микрон.
Тонкие плёнки могут быть твёрдыми или жидкими (реже — газообразными). Состав, структура и свойства тонких плёнок могут отличаться от таковых для объемной фазы, из которой образовалась тонкая плёнка. К твёрдым тонким пленкам относятся оксидные плёнки на поверхности металлов и искусственные плёночные покрытия, формируемые на различных материалах с целью создания приборов микроэлектроники, предотвращения коррозии, улучшения внешнего вида и т. п.

возникли такие направления в технике как тонкоплёночная электроника, специальные

разделы оптики.
Тонкие пленки широко применяются в качестве упрочняющих, светоотражающих, проводящих и диэлектрических покрытий.
Металлические плёнки широко используются в микроэлектронике в качестве межсоединений, контактных площадок, обкладок конденсаторов, магнитных и резистивных элементов интегральных схем.

микроскопа, который помимо трехмерного изображения поверхности позволяет получить профилограмму

в любом произвольном сечении.
Профилограммы позволяют количественно оценить характер рельефа поверхности. С использованием профилограмм был рассчитан средний размер кристаллитов в поверхностном слое пленки. Условно за размер кристаллита была принята его ширина по средней линии профилограммы, т.е. в поперечном (параллельно поверхности плёнки) сечении.

кристаллитов наблюдается с ростом толщины пленки до 60 нм.

Далее размер кристаллитов остается практически постоянным 

толщинах пленки менее 60 нм ее с полным основанием

можно относить к разряду "тонких" пленок, т.к. константа материала - удельное электрическое сопротивление оказывается зависимым от толщины пленки. С ее уменьшением резко возрастает электрическое сопротивление. При толщине пленки 13 нм удельное электрическое сопротивление становится более чем на порядок выше в сравнении с "толстой" пленкой. Высокое электрическое сопротивление "тонких" пленок обуславливается дополнительным рассеянием электронов на границах пленок, если толщина их соизмерима с длиной свободного пробега электронов проводимости. 

с использованием оптического микроскопа. Установлено, что "тонкие" пленки разрушаются

по механизму электрического пробоя диэлектрика. В этой же связи интересно отметить, что "тонкие" плёнки подобно диэлектрикам являются оптически прозрачными. При электрическом разрушении "тонких" плёнок наблюдаются тепловой пробой (1) и поверхностный пробой (2).
а - толщина плёнки 13 нм,  б - толщина плёнки 43 нм.

средний размер кристаллитов и соответственно толщина пленки, тем выше

ее электрическое сопротивление, тем ближе она по характеристикам пробоя приближается к диэлектрикам, т.е. чтобы произошел пробой, необходимо приложить большее напряжение.
У "толстых" пленок (60 нм и выше) поверхностный пробой отсутствует