- Главная
- Разное
- Бизнес и предпринимательство
- Образование
- Развлечения
- Государство
- Спорт
- Графика
- Культурология
- Еда и кулинария
- Лингвистика
- Религиоведение
- Черчение
- Физкультура
- ИЗО
- Психология
- Социология
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Геометрия
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Маркетинг
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Что такое findslide.org?
FindSlide.org - это сайт презентаций, докладов, шаблонов в формате PowerPoint.
Обратная связь
Email: Нажмите что бы посмотреть
Презентация на тему Плазменные системы для ионно-плазменной очистки и травления на переменном токе
Содержание
- 2. Индукционно-связанная плазма. Индуктивный плазменный реактор 1 –вакуумная
- 3. Схема реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы ICP Etch.
- 4. Плотность ионного тока в зависимости от мощности,
- 5. Установка реактивно-ионного травления в индуктивно-связанной плазме ICP-RIEКонструкция источника на индуктивно-связанной плазме
- 6. Плазма емкостного разряда. Емкостной реактор1 –вакуумная камера,
- 7. а – планарная ВЧ (ПТ)-диодная; б –
- 8. Скачать презентацию
- 9. Похожие презентации
Индукционно-связанная плазма. Индуктивный плазменный реактор 1 –вакуумная камера, 2 - активный электрод, 3 – обрабатываемая подложка, 4 – заземленный электрод, 5 – ВЧ-генератор.
Слайд 2
Индукционно-связанная плазма.
Индуктивный плазменный реактор
1 –вакуумная камера, 2
- активный электрод,
заземленный электрод, 5 – ВЧ-генератор.
Слайд 4
Плотность ионного тока
в зависимости от мощности,
подводимой
к антенне
Плотность ионного тока
в зависимости от расхода
рабочего
газа
Слайд 5
Установка реактивно-ионного
травления в индуктивно-связанной
плазме ICP-RIE
Конструкция источника
на
индуктивно-связанной плазме
Слайд 6
Плазма емкостного разряда.
Емкостной реактор
1 –вакуумная камера, 2 -
активный электрод,
3 – обрабатываемая подложка, 4 – заземленный
электрод,5 – ВЧ-генератор.
Слайд 7 а – планарная ВЧ (ПТ)-диодная; б – вертикальная
ВЧ (ПТ)-диодная с
многогранным электродом; в – триодная; г –
планарная магнетронная; 1 –камера; 2 – заземлённый электрод; 3 – ВЧ (ПТ)-электрод; 4 – заземлённый
экран; 5 – откачка; 6 – обрабатываемые пластины; 7 – напуск газа; 8 – анод; 9
– термокатод; 10 – магнитная система.
