Что такое findslide.org?

FindSlide.org - это сайт презентаций, докладов, шаблонов в формате PowerPoint.


Для правообладателей

Обратная связь

Email: Нажмите что бы посмотреть 

Яндекс.Метрика

Презентация на тему Плазменные системы для ионно-плазменной очистки и травления на переменном токе

Индукционно-связанная плазма. Индуктивный плазменный реактор 1 –вакуумная камера, 2 - активный электрод, 3 – обрабатываемая подложка, 4 – заземленный электрод, 5 – ВЧ-генератор.
Плазменные системы для ионно-плазменной очистки и травления на переменном токеЕгорова О.П. Индукционно-связанная плазма. Индуктивный плазменный реактор 1 –вакуумная камера, 2 - активный электрод, Схема реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы ICP Etch. Плотность ионного тока в зависимости от мощности, подводимой к антеннеПлотность ионного тока Установка реактивно-ионного травления в индуктивно-связанной плазме ICP-RIEКонструкция источника на индуктивно-связанной плазме Плазма емкостного разряда. Емкостной реактор1 –вакуумная камера, 2 - активный электрод, 3 а – планарная ВЧ (ПТ)-диодная; б – вертикальная ВЧ (ПТ)-диодная смногогранным электродом; Установка травления в плазме емкостного разряда STE RIE84
Слайды презентации

Слайд 2 Индукционно-связанная плазма.
Индуктивный плазменный реактор
1 –вакуумная камера, 2

Индукционно-связанная плазма. Индуктивный плазменный реактор 1 –вакуумная камера, 2 - активный

- активный электрод,
3 – обрабатываемая подложка, 4 –

заземленный электрод, 5 – ВЧ-генератор.


Слайд 3 Схема реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной

Схема реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы ICP Etch.

плазмы ICP Etch.


Слайд 4 Плотность ионного тока
в зависимости от мощности,
подводимой

Плотность ионного тока в зависимости от мощности, подводимой к антеннеПлотность ионного

к антенне

Плотность ионного тока
в зависимости от расхода
рабочего

газа

Слайд 5 Установка реактивно-ионного
травления в индуктивно-связанной
плазме ICP-RIE

Конструкция источника

Установка реактивно-ионного травления в индуктивно-связанной плазме ICP-RIEКонструкция источника на индуктивно-связанной плазме

на
индуктивно-связанной плазме


Слайд 6 Плазма емкостного разряда.
Емкостной реактор
1 –вакуумная камера, 2 -

Плазма емкостного разряда. Емкостной реактор1 –вакуумная камера, 2 - активный электрод,

активный электрод,
3 – обрабатываемая подложка, 4 – заземленный

электрод,
5 – ВЧ-генератор.


Слайд 7 а – планарная ВЧ (ПТ)-диодная; б – вертикальная

а – планарная ВЧ (ПТ)-диодная; б – вертикальная ВЧ (ПТ)-диодная смногогранным

ВЧ (ПТ)-диодная с
многогранным электродом; в – триодная; г –

планарная магнетронная; 1 –
камера; 2 – заземлённый электрод; 3 – ВЧ (ПТ)-электрод; 4 – заземлённый
экран; 5 – откачка; 6 – обрабатываемые пластины; 7 – напуск газа; 8 – анод; 9
– термокатод; 10 – магнитная система.


  • Имя файла: plazmennye-sistemy-dlya-ionno-plazmennoy-ochistki-i-travleniya-na-peremennom-toke.pptx
  • Количество просмотров: 103
  • Количество скачиваний: 0
Следующая - Трение