электрон шоғы үлгіге бағытталады. Екеуінің әсерлесуі нәтижесінде әлсіз электрондар
туындайды. Олар детекторге бағытталады, әр соқтығысуда электрлік сигналдар детектірден шығарда пайда болады.
Электрлік белгінің қарқындылығы үлгінің үлгінің табиғатына байланысты болады. Сомен электрон шоғы арқыла сканирлеуде қараған аймақтың бедерінің картасын алуға болады.
Электрондық зеңбіректе жұқа электрондық зонд туындайды, олар электрон көзі болып табылады. Олар электрондық линзалармен фокусталады. Сканирлейтін катушкалар зондтарды екі бағытқа ауытқытады, үлгінің бетін зонд көмегімен сканирлейді. Электрон көздері, электр линзалары және ауытқыту катушкалары электрон бағаналарын құрайды.
Жұмыс істеу принципі